特點(diǎn)
- 長期零點(diǎn)穩(wěn)定性，每年變動(dòng)小于滿量程的 0.2%
- 能夠根據(jù)命令變化迅速進(jìn)行流量響應(yīng)并且過沖/下沖可忽略不計(jì)
- 流量范圍寬 – 從3 sccm 一直到1000 slpm
- 耐高壓等級(jí) – 達(dá) 1,500 psi
- 可拆卸式流量傳感器
- 不受安裝角度影響
- 能和其他質(zhì)量流量控制器在機(jī)械和電氣設(shè)計(jì)方面兼容
- 電驅(qū)動(dòng)閥*調(diào)
- 耐化學(xué)腐蝕閥門
