特點
- 長期零點穩(wěn)定性，每年變動小于滿量程的 ± 0.5%
- 穩(wěn)定時間短：<300 ms – <400 ms
- 滿量程流速：3 sccm 至 5 slm
- 高純度流路 – 4μ 英寸 Ra 表面處理
- 借助衰減率 (ROD) 技術實現(xiàn)的嵌入式實時流量故障檢測與預測功能
- 加強過程氣體測量精度 – Z大可提升三倍 – 經(jīng)氣體實測優(yōu)化的高級氣體建模功能
- 壓力變化補償 (PTI) 技術
- 高清晰度的可旋轉(zhuǎn)電子 LCD 顯示屏能夠本地顯示流量、溫度、壓力和網(wǎng)絡地址
- DeviceNet™、RS-485 和模擬接口
