型號 GF80 / GF81設計采用與 GF100 系列響應速度相同的傳感器以及MultiFlo™ 技術，另外，金屬密封的 MFC 擁有 MultiFloTM 多氣體/多量程功能所帶來的優勢，原因是可用氣體方面沒有限制并且由于不會發生彈性體氧滲透而提升了氣體純度，同時還由于金屬密封件有效期相當長而減少了維護工作量。
| 型號 | GF80 | GF81 |
| 區別 | High Purity
Low Flow Rate |
High Purity
High?Flow Rate |
| 流量范圍-滿量程容量 | 3 sccm – 55 slm | 51 – 300 slm |
| 表面拋光 | 16μ inch Ra | 16μ inch Ra |
| 精度 | ±1% S.P. 35-100%
±0.35% F.S. 2-35% |
±1% S.P. 35-100%
±0.35% F.S. 5-35% |
| 重復性 | < ± 0.2% S.P. | 0.15% S.P. |
| 響應時間-常閉 | Normally Closed Valve
<1 sec |
Normally Closed Valve
<1 sec |
| 多氣體多量程 | MultiFlo™ Available | — |
| 瞬時壓力波動不敏感 | — | — |
| 診斷能力 | Status Lights: MFC Health, Network Status
Alarms: Control Valve Output, Network Interruption |
Status Lights: MFC Health, Network Status
Alarms: Control Valve Output, Network Interruption |
| 模擬通訊 | 0-20 mA
4-20 mA 0-5 Vdc 0-10 Vdc |
0-20 mA
4-20 mA 0-5 Vdc 0-10 Vdc |
| 數字通訊 | Profibus
RS485?S-Protocol RS485 L-Protocol DeviceNet™ |
Profibus
RS485?S-Protocol RS485 L-Protocol RS485 A-Protocol DeviceNet™ |
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