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型號 5850EMH / 5851EMH高溫應用中高純表現，Brooks Instrument 的 5850EMH 系列高溫金屬密封質量流量控制器結合金屬密封泄漏完整性，為高溫氣體測量和控制，具有多種選擇，允許Z大的應用靈活性。5850EMH 系列的核心是穩(wěn)定的傳感器，其提供與流速線性相關的電氣輸出信號。該信號用于指示、記錄和/或控制目的而無需自動歸零電路。

特點

• 高泄漏完整性（小于 10-11 Pa.m3/s (10-10 atm.cc/s) He）
• 寬流速范圍（0.003 – 100 slpm）
• 高純度 VAR 316L 不銹鋼
• 無磨粒
• 氦泄漏檢查端口
• 常閉閥（可選常開閥）
• 電致動閥復位
• 低命令流量斷流
• TTL 兼容”關閥”功能

優(yōu)勢

• 穩(wěn)定、可靠的產品平臺
• 高流量，達 100 lpm（N2 當量）
• 全金屬流路提高氣體純度及減少泄漏
• 僅使用模擬輸入/輸出容易安裝和維修

應用

• 光纖制造——MCVD，OVD，AVD
• 水汽流量控制