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特點：
1、熱式傳感器
2、1%精度 100:1 量程比
3、一體化的閥、顯示器及設定點
4、線性化輸出(0-5 VDC, 4-20 mA)
5、單獨的電源終端適配器
6、流體（接液部分）材質為鋁
7、符合NIST校準
8、低廉的價位

應用：
1、OEM
2、實驗室
3、醫學
4、過程控制
5、制藥
6、泄漏檢測
7、R & D
8、氣體混合

HF系列氣體質量流量計及控制器專為大流量設計，流量范圍可達1000SLPM.它的標準流體（接液部分）材質是鋁，接口為1/2″ FNPT ,也可以象GR系列一樣提供多種電子選項。

?	GR系列	MF系列	HF系列	IL系列
?材質	聚甲醛樹酯 Viton 可選：316不銹鋼	316SS（PH17-4） Viton	鋁 Viton	316SS（PH17-4） Viton
?輸出信號	0-5V DC 線性 或4-20mA線性	0-5V DC 線性 或4-20mA線性	0-5V DC 線性 或4-20mA線性	0-5V DC 線性 或4-20mA線性
?供電	24V DC標準，可選15V 115VAC，220VAC@500ma	24V DC標準，可選15V 115VAC，220VAC@500ma	24V DC標準，可選15V 115VAC，220VAC@500ma	24V DC標準，可選15V 115VAC，220VAC@500ma
?精度	+/-1%FS（包括線性）	+/-1%FS（包括線性）	+/-1%FS（包括線性）	+/-1%FS（包括線性）
?重復性	+/- 0.15% FS 或更好	+/- 0.15% FS 或更好	+/- 0.15% FS 或更好	+/- 0.15% FS 或更好
?電氣連接	9針?Sub”D”	9針?Sub”D”	9針?Sub”D”	9針?Sub”D”
?輸入信號	整體?or 0-5VDC	整體?or 0-5VDC	整體?or 0-5VDC	整體?or 0-5VDC
?控制閥	電磁閥 NC	電磁閥 NC	電磁閥 NC	電磁閥 NC
?量程	0-10SCCM-100SLPM	0-100SLPM-500SLPM	Z大35SCFM	0-10SCCM，0-20SLPM
?Z大耐壓	250PSIG	500PSIG	250PSIG	500PSIG
?響應時間	1秒	1秒	1秒	1秒

?溫度系數	0.05%滿量程/1℃或更好	0.05%滿量程/1℃或更好	0.05%滿量程/1℃或更好	0.05%滿量程/1℃或更好
?壓力系數	0.01%滿量程/PSIG或更好	0.01%滿量程/PSIG或更好	0.01%滿量程/PSIG或更好	0.01%滿量程/PSIG或更好