應用:
1、OEM
2、實驗室
3、醫學
4、過程控制
5、制藥
6、泄漏檢測
7、R & D
8、氣體混合

HF系列氣體質量流量計及控制器專為大流量設計,流量范圍可達1000SLPM.它的標準流體(接液部分)材質是鋁,接口為1/2″ FNPT ,也可以象GR系列一樣提供多種電子選項。
| ? |
GR系列
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MF系列
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HF系列
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IL系列
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| ?材質 |
聚甲醛樹酯 Viton
可選:316不銹鋼 |
316SS(PH17-4)
Viton |
鋁
Viton |
316SS(PH17-4)
Viton |
| ?輸出信號 |
0-5V DC 線性 |
0-5V DC 線性
或4-20mA線性 |
0-5V DC 線性
或4-20mA線性 |
0-5V DC 線性
或4-20mA線性 |
| ?供電 |
24V DC標準,可選15V
115VAC,220VAC@500ma |
24V DC標準,可選15V
115VAC,220VAC@500ma |
24V DC標準,可選15V
115VAC,220VAC@500ma |
24V DC標準,可選15V
115VAC,220VAC@500ma |
| ?精度 |
+/-1%FS(包括線性)
|
+/-1%FS(包括線性)
|
+/-1%FS(包括線性)
|
+/-1%FS(包括線性)
|
| ?重復性 |
+/- 0.15% FS 或更好
|
+/- 0.15% FS 或更好
|
+/- 0.15% FS 或更好
|
+/- 0.15% FS 或更好
|
| ?電氣連接 |
9針?Sub”D”
|
9針?Sub”D”
|
9針?Sub”D”
|
9針?Sub”D”
|
| ?輸入信號 |
整體?or 0-5VDC
|
整體?or 0-5VDC
|
整體?or 0-5VDC
|
整體?or 0-5VDC
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| ?控制閥 |
電磁閥 NC
|
電磁閥 NC
|
電磁閥 NC
|
電磁閥 NC
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| ?量程 |
0-10SCCM-100SLPM
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0-100SLPM-500SLPM
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Z大35SCFM
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0-10SCCM,0-20SLPM
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| ?Z大耐壓 |
250PSIG
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500PSIG
|
250PSIG
|
500PSIG
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| ?響應時間 |
1秒
|
1秒
|
1秒
|
1秒
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| ?溫度系數 |
0.05%滿量程/1℃或更好
|
0.05%滿量程/1℃或更好
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0.05%滿量程/1℃或更好
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0.05%滿量程/1℃或更好
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| ?壓力系數 |
0.01%滿量程/PSIG或更好
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0.01%滿量程/PSIG或更好
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0.01%滿量程/PSIG或更好
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0.01%滿量程/PSIG或更好
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