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特點

• 穩(wěn)定的 IsoSensor™ 流量測量傳感器
• 高純度流路
• 遠程控制電子元件（標配兩個模擬電子連接器）
• 數(shù)字測量和控制架構(gòu)

優(yōu)勢

• 傳感器穩(wěn)定性高，可保障長運行時間、減少維護工作并降低總體擁有成本
• 全金屬接液流路可確保氣體/蒸汽完整性和純度
• 包括 20 引腳卡緣連接器和 9/15 引腳“D”連接器，可實現(xiàn)標準化并減少庫存
• 強化準確性和過程控制

應(yīng)用

• 光纖制造 – MCVD
• 硅材料半導(dǎo)體器件加工工藝