特點
- 長期零點穩定性，每年變動小于滿量程的 ± 0.5%
- 穩定時間短：<300 ms – <400 ms
- 滿量程流速：3 sccm 至 5 slm
- 高純度流路 – 4μ 英寸 Ra 表面處理
- 借助衰減率 (ROD) 技術實現的嵌入式實時流量故障檢測與預測功能
- 加強過程氣體測量精度 – Z大可提升三倍 – 經氣體實測優化的高級氣體建模功能
- 壓力變化補償 (PTI) 技術
- 高清晰度的可旋轉電子 LCD 顯示屏能夠本地顯示流量、溫度、壓力和網絡地址
- DeviceNet™、RS-485 和模擬接口
型號 GF135，使用 GF135 診斷式壓力變化補償型 (PTI) 質量流量控制器確保流量過程的準確控制并使通量。半導體制造商可利用該產品實時驗證過程氣體流量準確性、檢查泄漏情況并監視傳感器穩定性同時無需將流量控制器從氣路上拆除。GF135 PTI MFC 將全金屬接液流路、快速穩定功能和過程氣體精度相結合，能夠改變各種淀積工藝的生產效率和吞吐率。半導體高級蝕刻工具
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