特點(diǎn)
- 長期零點(diǎn)穩(wěn)定性，每年變動小于滿量程的 0.2%
- 能夠根據(jù)命令變化迅速進(jìn)行流量響應(yīng)并且過沖/下沖可忽略不計(jì)
- 流量范圍寬 – 從3 sccm 一直到1000 slpm
- 耐高壓等級 – 達(dá) 1,500 psi
- 可拆卸式流量傳感器
- 不受安裝角度影響
- 能和其他質(zhì)量流量控制器在機(jī)械和電氣設(shè)計(jì)方面兼容
- 電驅(qū)動閥*調(diào)
- 耐化學(xué)腐蝕閥門
型號 SLA5850 / SLA5860 / SLA5851 / SLA5861 / SLA5853 / SLA5863
SLA5800 系列的特點(diǎn)是精度高、零點(diǎn)穩(wěn)定性以及重復(fù)性高，而上述特性正是行業(yè)對質(zhì)量流量測量和控制技術(shù)的需求所在。產(chǎn)品設(shè)計(jì)采用可配置多氣體/多量程功能，相較于競爭產(chǎn)品擁有好的零點(diǎn)漂移參數(shù)并且經(jīng)確證能夠持久地保持出廠校準(zhǔn)狀態(tài)和精度。
特點(diǎn)
- 長期零點(diǎn)穩(wěn)定性，每年變動小于滿量程的 0.2%
- 高精度
- 流量范圍寬 – 從0.003一直到 2500 lpm
- Z高耐壓等級 –? 1500 psi/100 bar（可選：4500 psi/310 bar）
- 可編程多氣體/多量程功能
- 可單獨(dú)輕松訪問的診斷/維護(hù)端口
- 包括 DeviceNet
、EtherCAT?、Profibus? 和 RS-485加模擬接口在內(nèi)的各種通信選擇 - 采用模塊化設(shè)計(jì)，無論在工廠或是現(xiàn)場使用均非常易于維護(hù)
優(yōu)勢
- 傳感器的長期穩(wěn)定性可降低對維護(hù)和定期校準(zhǔn)的要求，從而降低總體經(jīng)營成本
- 布魯克斯儀器的熱感測技術(shù)可提供信噪比性能從而提升低設(shè)定值條件下的測量和控制精度
- 選擇一個(gè)設(shè)備平臺即可滿足不同氣體和流量范圍的需求
- 可存儲并預(yù)先設(shè)定多達(dá)六種氣體校準(zhǔn)信息，用戶僅需一臺設(shè)備即可在不同氣體和量程間輕松切換并減少庫存
- 對用戶開放的服務(wù)端口簡化了安裝、故障排除和診斷操作并且不會干擾流量控制器工作
- 耐用、穩(wěn)定的金屬頂蓋可防止設(shè)備在安裝期間受損
- 多協(xié)議通信接口可簡化向現(xiàn)有系統(tǒng)的集成操作
- 基于國際標(biāo)準(zhǔn)的計(jì)量系統(tǒng)和初級校準(zhǔn)系統(tǒng)可確保設(shè)備精度
應(yīng)用
- 化學(xué)品和石化催化劑研究和試驗(yàn)過程
- 實(shí)驗(yàn)室和分析系統(tǒng)
- 燃料電池技術(shù)
- 生命科學(xué)實(shí)驗(yàn)室
| 型號 | SLA5850 | SLA5860 | SLA5851 | SLA5861 | SLA5853 | SLA5863 |
| 產(chǎn)品類型 | Mass Flow Controller | Mass Flow Meter | Mass Flow Controller | Mass Flow Meter | Mass Flow Controller | Mass Flow Meter |
| 區(qū)別 | Device Type
Flow Range |
Device Type
Flow Range |
Device Type
Flow Range |
Device Type
Flow Range |
Device Type
Flow Range |
Device Type
Flow Range |
| 流量范圍-滿量程容量 | 0.003 – 50 slpm | 0.003 – 50 slpm | 15 – 200 slpm | 15 – 200 slpm | 100 – 2500 slpm | 100 – 2500 slpm |
| Z大壓力 | 1500 psi / 103 bar
Optional 4500 psi / 310 bar |
1500 psi / 103 bar
Optional: 4500 psi / 310 bar |
1500 psi / 103 bar | 1500 psi / 103 bar | 1000 psi / 70 bar | 1000 psi / 70 bar |
| 精度 | 0.9% S.P. (20-100% F.S.)
0.18% F.S. (2-20% F.S., 1-20% F.S. from 1-50 lpm) |
0.9% S.P. (20-100% F.S.)
0.18% F.S. (2-20% F.S., 1-20% F.S. from 1-50 lpm) |
0.9% S.P. (20-100% F.S.)
0.18% F.S. (2-20% F.S., 1-20% F.S. from 1-50 lpm) |
0.9% S.P. (20-100% F.S.)
0.18% F.S. (2-20% F.S., 1-20% F.S. from 1-50 lpm) |
100 – 2500 lpm: 0.9% S.P. (20-100% F.S.)
100 – 1100 lpm:?0.18% of F.S. (2-20% F.S.) 1100 – 2500 lpm: 1.0% of F.S. |
100 – 2500 lpm: 0.9% S.P. (20-100% F.S.)
100 – 1100 lpm:?0.18% of F.S. (2-20% F.S.) 1100 – 2500 lpm: 1.0% of F.S. |
| 重復(fù)性 | 0.20% S.P. | 0.20% S.P. | 0.20% S.P. | 0.20% S.P. | 0.20% S.P. | 0.20% S.P. |
| 響應(yīng)時(shí)間-常閉 | <1 second | <1 second | <1 second | <1 seconds | <3 seconds | <3?seconds |
| 多氣體多量程 | Standard | Standard | Standard | Standard | Standard | Standard |
| 診斷能力 | Status Lights – MFC Health , Network Status
Alarms – Sensor Output, control Valve output, Over Temperature, Power Surge/Sag, Network Interruption Diagnostic/Service Port – RS485 via 2.5 mm jack |
Status Lights – MFC Health , Network Status
Alarms – Sensor Output, control Valve output, Over Temperature, Power Surge/Sag, Network Interruption Diagnostic/Service Port – RS485 via 2.5 mm jack |
Status Lights – MFC Health , Network Status
Alarms – Sensor Output, control Valve output, Over Temperature, Power Surge/Sag, Network Interruption Diagnostic/Service Port – RS485 via 2.5 mm jack |
Status Lights – MFC Health , Network Status
Alarms – Sensor Output, control Valve output, Over Temperature, Power Surge/Sag, Network Interruption Diagnostic/Service Port – RS485 via 2.5 mm jack |
Status Lights – MFC Health , Network Status
Alarms – Sensor Output, control Valve output, Over Temperature, Power Surge/Sag, Network Interruption Diagnostic/Service Port – RS485 via 2.5 mm jack |
Status Lights – MFC Health , Network Status
Alarms – Sensor Output, control Valve output, Over Temperature, Power Surge/Sag, Network Interruption Diagnostic/Service Port – RS485 via 2.5 mm jack |
| 模擬通訊 | 0-5 Vdc, 1-5 Vdc, 0-10 Vdc, 0-20 mA, 4-20 mA | 0-5 Vdc, 1-5 Vdc, 0-10 Vdc, 0-20 mA, 4-20 mA | 0-5 Vdc, 1-5 Vdc, 0-10 Vdc, 0-20 mA, 4-20 mA | 0-5 Vdc, 1-5 Vdc, 0-10 Vdc, 0-20 mA, 4-20 mA | 0-5 Vdc, 1-5 Vdc, 0-10 Vdc, 0-20 mA, 4-20 mA | 0-5 Vdc, 1-5 Vdc, 0-10 Vdc, 0-20 mA, 4-20 mA |
| 數(shù)字通訊 | DeviceNet
EtherCAT? FOUNDATIONTMFieldbus Profibus? RS-485 |
DeviceNet
EtherCAT? FOUNDATIONTMFieldbus Profibus? RS-485 |
DeviceNet
EtherCAT? FOUNDATIONTMFieldbus Profibus? RS-485 |
DeviceNet
EtherCAT? FOUNDATIONTMFieldbus Profibus? RS-485 |
DeviceNet
EtherCAT? FOUNDATIONTMFieldbus Profibus? RS-485 |
DeviceNet
EtherCAT? FOUNDATIONTMFieldbus Profibus? RS-485 |
技術(shù)的 GF40 系列橡膠密封熱式質(zhì)量流量計(jì)和控制器非常適用于那些使用多種氣體、需要頻繁切換氣體類型或是需要在保證氣體測量和控制準(zhǔn)確性的同時(shí)重新設(shè)定測量范圍的系統(tǒng)、工藝和設(shè)施。該產(chǎn)品與的流量測量和控制性能相結(jié)合，能夠?qū)⒐に囲`活性提升至新高度。
特點(diǎn)
- 可編程多氣體/多量程功能
- Brooks? MultiFlo 氣體數(shù)據(jù)庫包含數(shù)千種天然氣體測定結(jié)果，可用于建立修正函數(shù)
- 流量響應(yīng)時(shí)間不足 1 秒，精度可達(dá)目標(biāo)應(yīng)用設(shè)定值的 1%
- 非常適用于各種氣體
- 快速響應(yīng)，哈氏合金傳感器
- 擁有獨(dú)立于工具通信并可輕松接入的診斷服務(wù)端口
- 多協(xié)議通信選件包括 DeviceNet、EtherCAT?、Profibus? 和 RS-485 模擬接口
優(yōu)勢
- MultiFlo 技術(shù)能夠在不拆除管路中 MFC 的條件下設(shè)定新氣體和滿量程，從而延長運(yùn)行時(shí)間
- MultiFlo 編程功能簡單、易用；60 s 內(nèi)即可完成新氣體的選擇操作
- 可大幅降低設(shè)備商和大型終端用戶的流量控制器庫存
- 得益于基于國際標(biāo)準(zhǔn)的高級計(jì)量系統(tǒng)和校準(zhǔn)技術(shù)，產(chǎn)品擁有出色的工藝氣體測量精度
- 耐腐蝕傳感器的穩(wěn)定性，可確保良率和產(chǎn)能Z大化
- 對用戶開放的服務(wù)端口簡化了故障排除和診斷操作
- 各種橡膠密封件為各種應(yīng)用提供了經(jīng)濟(jì)實(shí)惠的性能靈活性
- 多協(xié)議通信接口可集成至現(xiàn)有系統(tǒng)
應(yīng)用
- 太陽能電池化學(xué)氣相沉積
- 生命科學(xué)實(shí)驗(yàn)室
- 真空處理
- 納米技術(shù)/MEMS 制造
- 等離子體、玻璃和卷繞鍍膜系統(tǒng)
- 非常適用于管匯系統(tǒng)/氣體輸送系統(tǒng)
| 型號 | GF40 |
| 流量范圍-滿量程容量 | 3 sccm – 50?slm |
| 精度 | 1% S.P. 35-100%
0.35% F.S. 2-35% |
| Z大壓力 | 150 psig/10 bar |
| 重復(fù)性 | <0.20% S.P. |
| 多氣體多量程 | MultiFlo Available |
| 診斷能力 | Status Lights: MFC Health, Network Status
Alarms: Sensor Output, Control Valve Output, Over Temperature, Power Surge/Sag, Network Interruption Diagnostic/Service Port: RS485 via 2.5 mm jack |
| 模擬通訊 | ?0-5 V,? 0-10 V, 0-20 mA, 4-20 mA |
| 數(shù)字通訊 | DeviceNet
EtherCAT Profibus? RS485 |
特點(diǎn)
- NEMA4X/IP66 級加固外殼
- 適用的流量額定值范圍寬 – 0.003 至高達(dá) 2500 lpm
- 適用于各種溫度和壓力條件
- 熱流量測量傳感器技術(shù)確保測量精度
- 可編程多氣體/多范圍功能
- 采用常規(guī)自檢功能并配有獨(dú)立的診斷維護(hù)端口，因此用戶無需拆除 MFC 即可進(jìn)行故障排除或流量條件切換
- 包括 DeviceNet、EtherCAT?、Profibus? 和 RS-485加模擬接口在內(nèi)的各種通信選件
優(yōu)勢
- 加固的設(shè)備外殼可為工藝精度和苛刻條件下的控制性能提供保障
- 熱感測技術(shù)可在低設(shè)定值條件下確認(rèn)信噪比
- 傳感器的長期穩(wěn)定性可降低對維護(hù)和定期校準(zhǔn)的要求
- 選擇一臺設(shè)備即可設(shè)定多達(dá)六種不同的氣體校準(zhǔn)信息
- 對用戶開放的服務(wù)端口簡化了安裝、故障排除和診斷操作
- 得益于基于國際標(biāo)準(zhǔn)的高級計(jì)量系統(tǒng)和校準(zhǔn)技術(shù)，產(chǎn)品擁有出色的測量精度
- 多協(xié)議通信接口可簡化現(xiàn)有系統(tǒng)的集成操作
應(yīng)用
- 化學(xué)與石化行業(yè)試驗(yàn)工場
- 生命科學(xué)實(shí)驗(yàn)室
- 食品加工中的氮封
nge
| 型號 | SLAMf50 | SLAMf60 | SLAMf51 | SLAMf61 | SLAMf53 | SLAMf63 |
| 類型 | Mass Flow Controller | Mass Flow Meter | Mass Flow Controller | Mass Flow Meter | Mass Flow Controller | Mass Flow Meter |
| 流量范圍 | 0.003 – 50 slpm | 0.003 – 50 slpm | 15 – 200 slpm | 15 – 200 slpm | 100 – 2500 slpm | 100 – 2500 slpm |
| Z大壓力 | 1500 psi / 100 bar | 1500 psi / 100 bar | 1500 psi / 100 bar | 1500 psi / 100 bar | 1000 psi / 70 bar | 1000 psi / 70 bar |
| 精度 | 0.9% S.P. (20-100% F.S.)
0.18% F.S. (2-20% F.S., 1-20% F.S. from 1-50 lpm) |
0.9% S.P. (20-100% F.S.)
0.18% F.S. (2-20% F.S., 1-20% F.S. from 1-50 lpm) |
0.9% S.P. (20-100% F.S.)
0.18% F.S. (2-20% F.S., 1-20% F.S. from 1-50 lpm) |
0.9% S.P. (20-100% F.S.)
0.18% F.S. (2-20% F.S., 1-20% F.S. from 1-50 lpm) |
100 – 2500 lpm: 0.9% S.P. (20-100% F.S.)
100 – 1100 lpm:?0.18% of F.S. (2-20% F.S.) 1100 – 2500 lpm: 1.0% of F.S. |
100 – 2500 lpm: 0.9% S.P. (20-100% F.S.)
100 – 1100 lpm:?0.18% of F.S. (2-20% F.S.) 1100 – 2500 lpm: 1.0% of F.S. |
| 重復(fù)性 | 0.20% S.P. | 0.20% S.P. | 0.20% S.P. | 0.20% S.P. | 0.20% S.P. | 0.20% S.P. |
| 響應(yīng)時(shí)間 | <1 second | <1 second | <1 second | <1 second | <3 seconds | <3 seconds |
| d | ||||||
| 模擬通訊 | 0-5 Vdc, 1-5 Vdc, 0-10 Vdc, 0-20 mA, 4-20 mA | 0-5 Vdc, 1-5 Vdc, 0-10 Vdc, 0-20 mA, 4-20 mA | 0-5 Vdc, 1-5 Vdc, 0-10 Vdc, 0-20 mA, 4-20 mA | 0-5 Vdc, 1-5 Vdc, 0-10 Vdc, 0-20 mA, 4-20 mA | 0-5 Vdc, 1-5 Vdc, 0-10 Vdc, 0-20 mA, 4-20 mA | 0-5 Vdc, 1-5 Vdc, 0-10 Vdc, 0-20 mA, 4-20 mA |
| 數(shù)字通訊 | DeviceNet
Profibus? FOUNDATIONTMFieldbus RS-485 |
DeviceNet
Profibus? FOUNDATIONTMFieldbus RS-485 |
DeviceNet
Profibus? FOUNDATIONTMFieldbus RS-485 |
DeviceNet
Profibus? FOUNDATIONTMFieldbus RS-485 |
DeviceNet
Profibus? FOUNDATIONTMFieldbus RS-485 |
DeviceNet
Profibus? FOUNDATIONTMFieldbus RS-485 |
型號 4850 / 4860，響應(yīng)時(shí)間快，適用于對時(shí)間要求嚴(yán)格的工藝，熱式質(zhì)量流量計(jì)和控制器的響應(yīng)速度越快，工藝就越高效，生產(chǎn)效率越高。響應(yīng)速度是 4800 系列的主要優(yōu)勢：該產(chǎn)品將基于 MEMS 的熱傳感器與 PID 算法相結(jié)合以優(yōu)化控制閥的響應(yīng)速度，因此使4800 系列控制器能夠根據(jù)設(shè)定值變化快速匹配實(shí)際的流量。本地操作界面 (LOI) 的選項(xiàng)能便于用戶對設(shè)備進(jìn)行查看、控制和配置，無需遠(yuǎn)程二次儀表。
特點(diǎn)
- 流量響應(yīng)時(shí)間（完成時(shí)間）<0.75 s
- ?MEMS 傳感器和 PID 算法
- 尺寸小巧，不足常規(guī)熱式MFC的 一半：1” x 3”x 4” (25 mm x 76 mm x 101 mm)
- 本地操作界面 (LOI) 選項(xiàng)可簡化設(shè)置和操作；免費(fèi)提供 LabVIEW VI 下載以進(jìn)行設(shè)備監(jiān)測和調(diào)零
- 通過 RS-232 實(shí)現(xiàn)數(shù)字化功能
| 4850 | 4860 | |
| 產(chǎn)品類型 | Mass Flow Controller | Mass Flow Meter |
| 流量范圍-滿量程容量 | 50?sccm –?40 slpm | 50?sccm –?40 slpm |
| 精度 | 3.0% F.S.
1.0%?F.S. (optional) |
3.0% F.S.
1.0%?F.S. (optional) |
| 重復(fù)性 | 0.15% F.S. | 0.15% F.S. |
| 響應(yīng)時(shí)間-常閉 | Normally Closed Valve: 300 ms – <1 sec | Normally Closed Valve: 300 ms – <1 sec |
| Z大壓力 | 150 psig/10 barg | 150 psig/10 barg |
| 診斷能力 | Status Lights: MFC Health, Network Status
Alarms: Sensor Output, Control Valve Output, Over Temperature, Power Surge/Sag, Network Interruption Diagnostic/Service Port: RS485 via 2.5 mm jack |
Status Lights: MFC Health, Network Status
Alarms: Sensor Output, Control Valve Output, Over Temperature, Power Surge/Sag, Network Interruption Diagnostic/Service Port: RS485 via 2.5 mm jack |
| 模擬通訊 | 0-5 Vdc 4-20 mA |
0-5 Vdc 4-20 mA |
| 數(shù)字通訊 | RS232 | RS232 |
特點(diǎn)
- 僅用于計(jì)量
- 流量范圍寬
- 不銹鋼接液材料
- 單側(cè)電源輸入
- 0-5 V 輸出信號
優(yōu)勢
- 質(zhì)量流量測量 – 無需溫度或壓力校正
- 適用于大多數(shù)應(yīng)用
- 耐用的全不銹鋼結(jié)構(gòu)和無移動部件設(shè)計(jì)可確保優(yōu)異的耐腐蝕性和長時(shí)間使用穩(wěn)定性，并且可應(yīng)用于大部分工藝/測試氣體
- 簡單的低成本安裝
- 采用電輸出信號，可實(shí)現(xiàn)流量指示、趨勢和統(tǒng)計(jì)
- 是進(jìn)行設(shè)備升級時(shí)替代可變面積流量計(jì)的選擇
應(yīng)用
- 吹掃氣體測量
- 氣體和濕度分析儀
- 粒子監(jiān)測器
- 醫(yī)療/麻醉供氧系統(tǒng)
- 曝氣/發(fā)泡系統(tǒng)
| 型號 | 5700 |
| 流量范圍-滿量程容量 | 0?sccm –?50 slpm |
| 精度 | 5% full scale including linearity |
| 重復(fù)性 | 0.5% F.S. |
| 響應(yīng)時(shí)間-常閉 | N/A |
| Z大壓力 | 150 psig |
| 模擬通訊 | ?0-5 V |
特點(diǎn)
- 長期零點(diǎn)穩(wěn)定性，每年變動小于滿量程的 ± 0.5%
- 穩(wěn)定時(shí)間短：<300 ms – <400 ms
- 滿量程流速：3 sccm 至 5 slm
- 高純度流路 – 4μ 英寸 Ra 表面處理
- 借助衰減率 (ROD) 技術(shù)實(shí)現(xiàn)的嵌入式實(shí)時(shí)流量故障檢測與預(yù)測功能
- 加強(qiáng)過程氣體測量精度 – Z大可提升三倍 – 經(jīng)氣體實(shí)測優(yōu)化的高級氣體建模功能
- 壓力變化補(bǔ)償 (PTI) 技術(shù)
- 高清晰度的可旋轉(zhuǎn)電子 LCD 顯示屏能夠本地顯示流量、溫度、壓力和網(wǎng)絡(luò)地址
- DeviceNet、RS-485 和模擬接口
型號 GF125 / GF126， MFC，GF125 系列產(chǎn)品是多變量壓力變化補(bǔ)償型 (PTI) 金屬密封質(zhì)量流量控制器和儀表，有著快的響應(yīng)速度和高的純度。作為將 PTI 質(zhì)量流量控制技術(shù)引入市場的 GF125 系列產(chǎn)品降低了壓力和溫度波動導(dǎo)致的過程氣體流量變化。一臺采用標(biāo)準(zhǔn) MultiFlo 技術(shù)的 MFC 即可滿足數(shù)千種氣體類型和各種量程組合的需求，無需從氣路上拆除 MFC 并且不影響精度。結(jié)果：降低了氣體顯示屏尺寸和成本，這得益于省去了壓力調(diào)節(jié)器、壓力傳感器和相關(guān)硬件的使用并輔以 PTI 性能以提高產(chǎn)率和生產(chǎn)效率。
特點(diǎn)
- 長期零點(diǎn)穩(wěn)定性，每年變動小于滿量程的 ± 0.5%ar
- 穩(wěn)定時(shí)間短：300 ms – <700 ms
- 滿量程流速達(dá) 300 slpm
- 高純度流路 – 4μ 英寸 Ra 表面處理
- 符合 SEMI F20 標(biāo)準(zhǔn)的接液材料
- 采用 ARM 處理器的耐腐蝕 Hastelloy? T-Rise 傳感器
- 可進(jìn)行快速反應(yīng)的無隔膜閥組件不受壓差影響，并且測試表明產(chǎn)品經(jīng)七百萬次循環(huán)無故障
- MultiFlo 技術(shù)靈活性 — 一臺設(shè)備經(jīng)編程設(shè)定后即可滿足數(shù)千種不同氣體和流量測量范圍配置的需求，無需從氣路上拆除 MFC 并且不影響精度
- 本地顯示屏可指示流量、溫度、壓力和網(wǎng)絡(luò)地址以便于輕松解決供氣和隔離閥故障問題
- DeviceNet、RS-485 L-協(xié)議和模擬接口
優(yōu)勢
- GF125 系列產(chǎn)品通過將布魯克斯儀器的流量傳感器技術(shù)與能夠進(jìn)行快速反應(yīng)的無隔膜閥組件相結(jié)合，可將響應(yīng)速度和穩(wěn)定速度較之其他質(zhì)量流量控制器提高 3 倍。
- 經(jīng)優(yōu)化的接液流路，可提升干燥效果
- MultiFloTM 技術(shù)可實(shí)現(xiàn) MFC 流量測定量程的重新設(shè)定，通常是按 3:1 下調(diào)并且不影響精度，量程比或內(nèi)漏率
- 全面的氣體數(shù)據(jù)庫為您提供廣泛的氣體保護(hù)信息
- 壓力變化補(bǔ)償 (PTI) 功能能夠克服傳統(tǒng) MFC 的限制（受進(jìn)氣壓力波動影響明顯）。產(chǎn)品效果表明其性能穩(wěn)定并且可達(dá)到預(yù)期精度。
- 便捷的用戶顯示屏和獨(dú)立的診斷/維護(hù)端口有助于設(shè)備安裝、監(jiān)測和故障排除
關(guān)鍵應(yīng)用
- 半導(dǎo)體
- MOCVD（金屬有機(jī)化學(xué)氣相沉積）
- 要求使用高純度全金屬流路的氣體流量控制應(yīng)用
便捷的維護(hù)端口
- 輕松進(jìn)行診斷和故障排除
- 不影響工具通信
用戶界面
- 輕松安裝、啟動和操作
機(jī)械耦合閥
- 耐腐蝕全金屬閥
- 采用無隔膜設(shè)計(jì)并且不受壓差影響
- 高速吹掃功能
- 測試表明產(chǎn)品經(jīng)四百萬次循環(huán)無故障
壓力傳感器
- 不受輸送壓力擾動或波動影響的穩(wěn)定流量控制
溫升傳感器
- 長期穩(wěn)定性（<+0.5% F.S/年）
- 提高了信噪比
- 高速吹掃功能
- 可在較低溫度下工作，適用于易發(fā)生熱分解的氣體
溫度傳感器
- 可在全溫度范圍內(nèi)進(jìn)行準(zhǔn)確的流量和溫度測量
- 實(shí)時(shí)補(bǔ)償環(huán)境溫度波動，實(shí)現(xiàn)準(zhǔn)確的氣體化學(xué)控制
| 型號 | GF125 | GF126 |
| 區(qū)別 | Ultra-High Purity
Ultra-Fast Response Time Pressure Transient Insensitivity |
High Flow Rate |
| 流量范圍-滿量程容量 | 3 sccm – 55 slm | 55 slm – 300 slm |
| 表面拋光 | 4μ inch Ra | 4μ inch Ra |
| 精度 | ±1% S.P. > 35-100%
±0.35% F.S. 2-35% |
±1% S.P. > 35-100%
±0.35% F.S. 2-35% |
| 重復(fù)性 | < ±0.15% S.P. | < ±0.15% S.P. |
| 響應(yīng)時(shí)間-常閉 | Normally Closed Valve
300ms (3-860 sccm N2 Eq.) 400ms (861-7200 sccm N2 Eq.) 500ms (7201-30000 sccm N2 Eq.) <700ms (30001-55000 sccm N2 Eq.) |
Normally Closed Valve
<1 sec |
| 響應(yīng)時(shí)間-常開 | Normally Open Valve
<1.5 sec |
Normally Open Valve
— |
| 多氣體多量程 | MultiFlo Standard |
MultiFlo Standard |
| 瞬時(shí)壓力波動不敏感 | ±5% S.P. up to 5 psi/sec upstream press. spike | Ability to measure inlet pressure |
| 診斷能力 | Status Lights – MFC Health, Network Status
Alarms – Control Valve Output, Network Interruption |
Status Lights: MFC Health & Network Status
Alarms: Control Valve Output & Network Interruption |
| 模擬通訊 | 0-5 Vdc | 0-5 Vdc |
| 數(shù)字通訊 | RS485?L Protocol
DeviceNet |
RS485?L Protocol
DeviceNet |
特點(diǎn)
- 每年<滿量程的±0.15%的長期零點(diǎn)穩(wěn)定性
- 響應(yīng)穩(wěn)定時(shí)間: 300毫秒 – <1秒
- 流量可達(dá)到300 slpm
- 全金屬密封的流體通路：可選5μ 或 10μ inch Ra的表面粗糙度
- 抗腐蝕的哈氏合金升溫傳感器在溫度升高時(shí)改善了測量的重復(fù)性
- MultiFloTM 氣體和量程的可編程性—一臺表，幾千種氣體和量程的組合，無需把MFC從管路上拆除，也不會影響精度
- 方便的用戶顯示和獨(dú)立的診斷/服務(wù)端口可幫助儀表安裝，監(jiān)測和故障排查
- GF120 安全傳輸系統(tǒng)(SDS?)是布魯克斯的低壓降質(zhì)量流量控制計(jì)，用于離子注入和刻蝕工藝的負(fù)壓安全傳輸系統(tǒng)的氣體傳輸
| 型號 | GF100 | GF101 | GF120 | GF120XSD | GF120XSD | GF121 | GF125 | GF126 |
| 區(qū)別 | High Purity | High Purity
High Flow Rate |
Ultra-High Purity
Ultra-Fast Response Time |
SDS Gas Delivery | SDS Gas Delivery | Ultra-High Purity
High Flow Rate |
Ultra-High Purity
Ultra-Fast Response Pressure Transient Insensitivity |
High Flow Rate |
| 流量范圍-滿量程容量 | 3 sccm – 55 slm | 55 slm – 300 slm | 3 sccm – 55 slm | 4 – 25 sccm | >25 sccm?– 1 slm | 55 slm – 300 slm | 3 sccm – 55 slm | 55 slm – 300 slm |
| 表面拋光 | 10μ inch Ra | 10μ inch Ra | 5μ inch Ra | 5μ inch Ra | 5μ inch Ra | 5μ inch Ra | 5μ inch Ra | 5μ inch Ra |
| 精度 | ±1% S.P. > 20-100%
±0.20% F.S. 2-20% |
±1% S.P. > 35-100%
±0.35% F.S. 2-35% |
±1% S.P. > 20-100%
±0.20% F.S. 2-20% |
±1% S.P. > 35-100%
±0.35% F.S. 2-35% |
±1% S.P. > 35-100%
±0.35% F.S. 2-35% |
±1% S.P. > 35-100%
±0.35% F.S. 2-35% |
±1% S.P. > 20-100%
±0.20% F.S. 2-20% |
±1% S.P. > 35-100%
±0.35% F.S. 2-35% |
| 重復(fù)性 | < ±0.15% S.P. | < ±0.15% S.P. | < ±0.15% S.P. | < ±0.15% S.P. | < ±0.15% S.P. | < ±0.15% S.P. | < ±0.15% S.P. | < ±0.15% S.P. |
| 響應(yīng)時(shí)間-常閉 | Normally Closed
<1 sec |
Normally Closed
<1 sec |
Normally Closed
700 ms |
Normally Closed
<3 sec |
Normally Closed
<3 sec |
Normally Closed
<1 sec |
Normally Closed
300ms – <700ms |
Normally Closed
<1 sec |
| 響應(yīng)時(shí)間-常開 | Normally Open
<1.5 sec |
Normally Open
— |
Normally Open
<1.5 sec |
Normally Open
— |
Normally Open
— |
Normally Open
— |
Normally Open
<1.5 sec |
Normally Open
— |
| 多氣體多量程 | MultiFlo Standard |
MultiFlo Standard |
MultiFlo Standard |
— | — | MultiFlo Standard |
MultiFlo Standard |
MultiFlo Standard |
| 瞬時(shí)壓力波動不敏感 | — | — | — | — | — | — | ±5% S.P. up to 5 psi/sec upstream press. spike | Ability to measure inlet pressure |
| 診斷能力 | Status Lights & Alarms | Status Lights & Alarms | Status Lights & Alarms | Status Lights & Alarms | Status Lights & Alarms | Status Lights & Alarms | Status Lights & Alarms | Status Lights & Alarms |
| 數(shù)字通訊 | EtherCAT | EtherCAT | EtherCAT | EtherCAT | EtherCAT | EtherCAT | EtherCAT | EtherCAT |
技術(shù)的 MFC 即可滿足數(shù)千種氣體類型和各種量程組合的需求，無需從氣路上拆除 MFC 并且不影響精度。結(jié)果：提高工藝靈活性和效率輔以業(yè)內(nèi)高純度的過程氣體，有助于提高產(chǎn)率和生產(chǎn)效率。
| 型號 | GF100 | GF101 | GF120 | GF120XSL | GF120XSL | GF121 |
| 區(qū)別 | High Purity | High Purity
High Flow Rate |
Ultra-High Purity
Ultra-Fast Response Time |
SDS Gas Delivery | SDS Gas Delivery | Ultra-High Purity
High Flow Rate |
| 流量范圍-滿量程容量 | 3 sccm – 55 slm | 55 slm – 300 slm | 3 sccm – 55 slm | >25 sccm?– 1 slm | 4 – 25 sccm | 55 slm – 300 slm |
| 表面拋光 | 10μ inch Ra | 10μ inch Ra | 4μ inch Ra | 4μ inch Ra | 4μ inch Ra | 4μ inch Ra |
| 精度 | ±1% S.P. > 35-100%
±0.35% F.S. 2-35% |
±1% S.P. > 35-100%
±0.35% F.S. 2-35% |
±1% S.P. > 35-100%
±0.35% F.S. 2-35% |
±1% S.P. > 35-100%
±0.35% F.S. 2-35% |
±1% S.P. > 35-100%
±0.35% F.S. 2-35% |
±1% S.P. > 35-100%
±0.35% F.S. 2-35% |
| 重復(fù)性 | < ±0.15% S.P. | < ±0.15% S.P. | < ±0.15% S.P. | < ±0.15% S.P. | < ±0.15% S.P. | < ±0.15% S.P. |
| 響應(yīng)時(shí)間-常閉 | Normally Closed
<1 sec |
Normally Closed
<1 sec |
Normally Closed
700 ms |
Normally Closed
<3 sec |
Normally Closed
<3 sec |
Normally Closed
<1 sec |
| 響應(yīng)時(shí)間-常開 | Normally Open
<1.5 sec |
Normally Open
— |
Normally Open
<1.5 sec |
Normally Open
— |
Normally Open
— |
Normally Open
— |
| 多氣體多量程 | MultiFlo Standard |
MultiFlo Standard |
MultiFlo Standard |
— | — | MultiFlo Standard |
| 瞬時(shí)壓力波動不敏感 | — | — | — | — | — | — |
| 診斷能力 | Status Lights: MFC Health & Network Status
Alarms: Control Valve Output & Network Interruption |
Status Lights: MFC Health &?Network Status
Alarms: Control Valve Output &?Network Interruption |
Status Lights: MFC Health &?Network Status
Alarms: Control Valve Output &?Network Interruption |
Status Lights: MFC Health &?Network Status
Alarms: Control Valve Output &?Network Interruption |
Status Lights: MFC Health &?Network Status
Alarms: Control Valve Output &?Network Interruption |
Status Lights: MFC Health &?Network Status
Alarms: Control Valve Output &?Network Interruption |
| 模擬通訊 | 0-5 Vdc | 0-5 Vdc | 0-5 Vdc | 0-5 Vdc | 0-5 Vdc | 0-5 Vdc |
| 數(shù)字通訊 | RS485?L Protocol
DeviceNet |
RS485?L Protocol
DeviceNet |
RS485?L Protocol
DeviceNet |
RS485?L Protocol
DeviceNet |
RS485?L Protocol
DeviceNet |
RS485?L Protocol
DeviceNet |