特點：
1、熱式傳感器
2、1%精度 100:1 量程比
3、一體化的閥、顯示器及設定點
4、線性化輸出(0-5 VDC, 4-20 mA)
5、單獨的電源終端適配器
6、316 不銹鋼 流體
7、符合NIST校準
8、低廉的價位
應用：
1、OEM
2、實驗室
3、醫學
4、過程控制
5、制藥
6、泄漏檢測
7、R & D
8、氣體混合
美國費思姆(FATHOM)公司GR系列氣體質量流量計及控制器利用熱式傳感技術直接測量和控制質量流量。 FATHOM生產的流量計或控制器可以根據多種氣體和量程進行校準。大部分校準都遵循NIST標準。 FATHOM的流量計可以選擇帶LCD顯示，各種尺寸的接口和各種供電電源。Fathom的目標是為客戶提供高性價比的高等級氣體質量流量計及控制器。
| ? |
GR系列
|
MF系列
|
HF系列
|
IL系列
|
| 材質 |
聚甲醛樹酯 Viton
可選：316不銹鋼 |
316SS（PH17-4）
Viton |
鋁
Viton |
316SS（PH17-4）
Viton |
| 輸出信號 |
0-5V DC 線性 |
0-5V DC 線性
或4-20mA線性 |
0-5V DC 線性
或4-20mA線性 |
0-5V DC 線性
或4-20mA線性 |
| 供電 |
24V DC標準，可選15V
115VAC，220VAC@500ma |
24V DC標準，可選15V
115VAC，220VAC@500ma |
24V DC標準，可選15V
115VAC，220VAC@500ma |
24V DC標準，可選15V
115VAC，220VAC@500ma |
| 精度 |
+/-1%FS（包括線性）
|
+/-1%FS（包括線性）
|
+/-1%FS（包括線性）
|
+/-1%FS（包括線性）
|
| 重復性 |
+/- 0.15% FS 或更好
|
+/- 0.15% FS 或更好
|
+/- 0.15% FS 或更好
|
+/- 0.15% FS 或更好
|
| 電氣連接 |
9針?Sub”D”
|
9針?Sub”D”
|
9針?Sub”D”
|
9針?Sub”D”
|
| 輸入信號 |
整體?or 0-5VDC
|
整體?or 0-5VDC
|
整體?or 0-5VDC
|
整體?or 0-5VDC
|
| 控制閥 |
電磁閥 NC
|
電磁閥 NC
|
電磁閥 NC
|
電磁閥 NC
|
| 量程 |
0-10SCCM-100SLPM
|
0-100SLPM-500SLPM
|
Z大35SCFM
|
0-10SCCM，0-20SLPM
|
| Z大耐壓 |
250PSIG
|
500PSIG
|
250PSIG
|
500PSIG
|
| 響應時間 |
1秒
|
1秒
|
1秒
|
1秒
|
| 溫度系數 |
0.05%滿量程/1℃或更好
|
0.05%滿量程/1℃或更好
|
0.05%滿量程/1℃或更好
|
0.05%滿量程/1℃或更好
|
| 壓力系數 |
0.01%滿量程/PSIG或更好
|
0.01%滿量程/PSIG或更好
|
0.01%滿量程/PSIG或更好
|
0.01%滿量程/PSIG或更好
|
]]>
特點：
1、熱式傳感器
2、1%精度 100:1 量程比
3、一體化的閥、顯示器及設定點
4、線性化輸出(0-5 VDC, 4-20 mA)
5、單獨的電源終端適配器
6、316 不銹鋼 流體
7、符合NIST校準
8、低廉的價位
應用：
1、OEM
2、實驗室
3、醫學
4、過程控制
5、制藥
6、泄漏檢測
7、R & D
8、氣體混合
IL系列氣體質量流量計及控制器特別適合于低流量應用，其接液部分為全不銹鋼. 它可以通過低度的污染物，還有短的凈化處理時間等特點。IL系列是一款緊湊型、重量輕、性價比高的流量計或控制器。 IL系列利用其的”In-Line” 控制閥（此控制閥由非常少的部分組成）,提供一個直通流動通道。
| ? |
GR系列
|
MF系列
|
HF系列
|
IL系列
|
| ?材質 |
聚甲醛樹酯 Viton
可選：316不銹鋼 |
316SS（PH17-4）
Viton |
鋁
Viton |
316SS（PH17-4）
Viton |
| ?輸出信號 |
0-5V DC 線性 |
0-5V DC 線性
或4-20mA線性 |
0-5V DC 線性
或4-20mA線性 |
0-5V DC 線性
或4-20mA線性 |
| ?供電 |
24V DC標準，可選15V
115VAC，220VAC@500ma |
24V DC標準，可選15V
115VAC，220VAC@500ma |
24V DC標準，可選15V
115VAC，220VAC@500ma |
24V DC標準，可選15V
115VAC，220VAC@500ma |
| ?精度 |
+/-1%FS（包括線性）
|
+/-1%FS（包括線性）
|
+/-1%FS（包括線性）
|
+/-1%FS（包括線性）
|
| ?重復性 |
+/- 0.15% FS 或更好
|
+/- 0.15% FS 或更好
|
+/- 0.15% FS 或更好
|
+/- 0.15% FS 或更好
|
| ?電氣連接 |
9針?Sub”D”
|
9針?Sub”D”
|
9針?Sub”D”
|
9針?Sub”D”
|
| ?輸入信號 |
整體?or 0-5VDC
|
整體?or 0-5VDC
|
整體?or 0-5VDC
|
整體?or 0-5VDC
|
| ?控制閥 |
電磁閥 NC
|
電磁閥 NC
|
電磁閥 NC
|
電磁閥 NC
|
| ?量程 |
0-10SCCM-100SLPM
|
0-100SLPM-500SLPM
|
Z大35SCFM
|
0-10SCCM，0-20SLPM
|
| ?Z大耐壓 |
250PSIG
|
500PSIG
|
250PSIG
|
500PSIG
|
| ?響應時間 |
1秒
|
1秒
|
1秒
|
1秒
|
| ?溫度系數 |
0.05%滿量程/1℃或更好
|
0.05%滿量程/1℃或更好
|
0.05%滿量程/1℃或更好
|
0.05%滿量程/1℃或更好
|
| ?壓力系數 |
0.01%滿量程/PSIG或更好
|
0.01%滿量程/PSIG或更好
|
0.01%滿量程/PSIG或更好
|
0.01%滿量程/PSIG或更好
|
]]>
特點：
1、熱式傳感器
2、1%精度 100:1 量程比
3、一體化的閥、顯示器及設定點
4、線性化輸出(0-5 VDC, 4-20 mA)
5、單獨的電源終端適配器
6、316 不銹鋼 流體
7、符合NIST校準
8、低廉的價位
1、熱式傳感器
2、1%精度 100:1 量程比
3、一體化的閥、顯示器及設定點
4、線性化輸出(0-5 VDC, 4-20 mA)
5、單獨的電源終端適配器
6、316 不銹鋼 流體
7、符合NIST校準
8、低廉的價位
應用：
1、OEM
2、實驗室
3、醫學
4、過程控制
5、制藥
6、泄漏檢測
7、R & D
8、氣體混合
MF系列氣體質量流量計及控制器量程從 100到500 SLPM. 流體（接液部分） 結構為 316SS ，接口為 1/2″ FNPT.MF系列與GR系列一樣具有多種電子選項：包括LCD顯示，就地設定點等。
| ? |
GR系列
|
MF系列
|
HF系列
|
IL系列
|
| ?材質 |
聚甲醛樹酯 Viton
可選：316不銹鋼 |
316SS（PH17-4）
Viton |
鋁
Viton |
316SS（PH17-4）
Viton |
| ?輸出信號 |
0-5V DC 線性 |
0-5V DC 線性
或4-20mA線性 |
0-5V DC 線性
或4-20mA線性 |
0-5V DC 線性
或4-20mA線性 |
| ?供電 |
24V DC標準，可選15V
115VAC，220VAC@500ma |
24V DC標準，可選15V
115VAC，220VAC@500ma |
24V DC標準，可選15V
115VAC，220VAC@500ma |
24V DC標準，可選15V
115VAC，220VAC@500ma |
| ?精度 |
+/-1%FS（包括線性）
|
+/-1%FS（包括線性）
|
+/-1%FS（包括線性）
|
+/-1%FS（包括線性）
|
| ?重復性 |
+/- 0.15% FS 或更好
|
+/- 0.15% FS 或更好
|
+/- 0.15% FS 或更好
|
+/- 0.15% FS 或更好
|
| ?電氣連接 |
9針?Sub”D”
|
9針?Sub”D”
|
9針?Sub”D”
|
9針?Sub”D”
|
| ?輸入信號 |
整體?or 0-5VDC
|
整體?or 0-5VDC
|
整體?or 0-5VDC
|
整體?or 0-5VDC
|
| ?控制閥 |
電磁閥 NC
|
電磁閥 NC
|
電磁閥 NC
|
電磁閥 NC
|
| ?量程 |
0-10SCCM-100SLPM
|
0-100SLPM-500SLPM
|
Z大35SCFM
|
0-10SCCM，0-20SLPM
|
| ?Z大耐壓 |
250PSIG
|
500PSIG
|
250PSIG
|
500PSIG
|
| ?響應時間 |
1秒
|
1秒
|
1秒
|
1秒
|
| ?溫度系數 |
0.05%滿量程/1℃或更好
|
0.05%滿量程/1℃或更好
|
0.05%滿量程/1℃或更好
|
0.05%滿量程/1℃或更好
|
| ?壓力系數 |
0.01%滿量程/PSIG或更好
|
0.01%滿量程/PSIG或更好
|
0.01%滿量程/PSIG或更好
|
0.01%滿量程/PSIG或更好
|
]]>
特點：
1、熱式傳感器
2、1%精度 100:1 量程比
3、一體化的閥、顯示器及設定點
4、線性化輸出(0-5 VDC, 4-20 mA)
5、單獨的電源終端適配器
6、流體（接液部分）材質為鋁
7、符合NIST校準
8、低廉的價位
]]>1、熱式傳感器
2、1%精度 100:1 量程比
3、一體化的閥、顯示器及設定點
4、線性化輸出(0-5 VDC, 4-20 mA)
5、單獨的電源終端適配器
6、流體（接液部分）材質為鋁
7、符合NIST校準
8、低廉的價位
應用：
1、OEM
2、實驗室
3、醫學
4、過程控制
5、制藥
6、泄漏檢測
7、R & D
8、氣體混合
HF系列氣體質量流量計及控制器專為大流量設計，流量范圍可達1000SLPM.它的標準流體（接液部分）材質是鋁，接口為1/2″ FNPT ,也可以象GR系列一樣提供多種電子選項。
| ? |
GR系列
|
MF系列
|
HF系列
|
IL系列
|
| ?材質 |
聚甲醛樹酯 Viton
可選：316不銹鋼 |
316SS（PH17-4）
Viton |
鋁
Viton |
316SS（PH17-4）
Viton |
| ?輸出信號 |
0-5V DC 線性 |
0-5V DC 線性
或4-20mA線性 |
0-5V DC 線性
或4-20mA線性 |
0-5V DC 線性
或4-20mA線性 |
| ?供電 |
24V DC標準，可選15V
115VAC，220VAC@500ma |
24V DC標準，可選15V
115VAC，220VAC@500ma |
24V DC標準，可選15V
115VAC，220VAC@500ma |
24V DC標準，可選15V
115VAC，220VAC@500ma |
| ?精度 |
+/-1%FS（包括線性）
|
+/-1%FS（包括線性）
|
+/-1%FS（包括線性）
|
+/-1%FS（包括線性）
|
| ?重復性 |
+/- 0.15% FS 或更好
|
+/- 0.15% FS 或更好
|
+/- 0.15% FS 或更好
|
+/- 0.15% FS 或更好
|
| ?電氣連接 |
9針?Sub”D”
|
9針?Sub”D”
|
9針?Sub”D”
|
9針?Sub”D”
|
| ?輸入信號 |
整體?or 0-5VDC
|
整體?or 0-5VDC
|
整體?or 0-5VDC
|
整體?or 0-5VDC
|
| ?控制閥 |
電磁閥 NC
|
電磁閥 NC
|
電磁閥 NC
|
電磁閥 NC
|
| ?量程 |
0-10SCCM-100SLPM
|
0-100SLPM-500SLPM
|
Z大35SCFM
|
0-10SCCM，0-20SLPM
|
| ?Z大耐壓 |
250PSIG
|
500PSIG
|
250PSIG
|
500PSIG
|
| ?響應時間 |
1秒
|
1秒
|
1秒
|
1秒
|
| ?溫度系數 |
0.05%滿量程/1℃或更好
|
0.05%滿量程/1℃或更好
|
0.05%滿量程/1℃或更好
|
0.05%滿量程/1℃或更好
|
| ?壓力系數 |
0.01%滿量程/PSIG或更好
|
0.01%滿量程/PSIG或更好
|
0.01%滿量程/PSIG或更好
|
0.01%滿量程/PSIG或更好
|